近日，东方晶源完成新一轮数亿元股权融资，本轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。此轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。

三行资本董事总经理郑睿表示：芯片制造进入20纳米及以下节点后，关键制程的尺寸测量和缺陷检测的精确性及有效性将对产品良率产生决定性作用。此类设备和EDA技术是我国集成电路行业“卡脖子”技术之一，填补了国内空白。作为一直深耕于泛半导体全产业链国产替代的三行资本，早在2020年就参与到了东方晶源的融资中，未来三行资本依然会不遗余力助力东方晶源再攀新高！

东方晶源成立于2014年，创立之初即确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向。多年来，在客户、股东及各级领导的支持下，东方晶源业绩斐然。截止目前，东方晶源成功自主研发了计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了多项国内市场空白，已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量，对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义。

公司是国内唯一一家集光刻机优化软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和纳米级电子束测量装备（CD-SEM）于一体的高科技企业，也是集成电路行业检测领域的国家队。

近几年，在国家大力发展集成电路产业的浪潮下，东方晶源多年来的深厚技术研发积淀产生了巨大的发展动能，企业实现跨越式发展。从2020年下半年开始，东方晶源加速转型升级，由研发型组织向全业务链组织迈进，产业化进程突飞猛进。2021年上半年更是硕果累累：CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业，市场地位进一步夯实；02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进；成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业。此外，在客户的支持下，公司一举拿下多个重要订单，东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单，三款产品也因此填补国内空白，为我国集成电路制造国产化做出重要贡献。

2021年，公司加速转型升级，由研发型组织向全业务链组织迈进，产业化进程突飞猛进，拿下多个重要订单，行业地位进一步巩固，为我国集成电路制造国产化做出了重要贡献，此次融资势必给公司快速发展注入新动能。

关于三行资本

三行资本专注于科技领域，聚焦在泛半导体产业链投资，主要投资材料、设备、器件在科技创新下的国产化替代。三行资本凭借“行业专注下的深度研究挖掘+五位一体的创新性资源整合”的独特投资策略，已投资奕斯伟计算、奕斯伟材料、奕斯伟封测、晶导微、矽睿科技、德邦科技、海谱润斯、皓泽电子、勤邦科技、富烯科技、京浜光电、桐力光电、烨嘉光电、精智达、重塑科技、东方晶源、沃凯珑、德尔科技、隔空智能、果纳半导体、凡赛特等四十余家企业。

三行资本致力于打造泛半导体领域的优秀市场化投资机构，始终秉承“重承诺、有温度、守纪律”的企业理念，深化产业链资源，寻找到优秀的企业家并与之合力同行，共创价值。